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Miniaturized langasite MEMS micro-cantilever beam structured resonator for high temperature gas sensing

Structurae kann Ihnen derzeit diese Veröffentlichung nicht im Volltext zur Verfügung stellen. Der Volltext ist beim Verlag erhältlich über die DOI: 10.1088/1361-665x/ab78b6.
  • Über diese
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  • Reference-ID
    10414242
  • Veröffentlicht am:
    26.02.2020
  • Geändert am:
    31.03.2020
 
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